真空系統對閥門的要求

1、防銹性

    在與真空環境接觸的材料一定要具有良好的防銹性能。因此廣泛采用鋁合金，銅合金和不銹鋼來制造真空隔離部件。

2、 工作壓力范圍在0～2.5×105Pa

    相對較寬的壓力范圍，會使產品的使用面更廣泛，而且閥板的密封*好是雙向的，至少閥板在反頂大氣壓時也可密封。

3、低漏率

    在高真空領域內漏率應<10-7Pa·l·s-1,較低的漏率有利于提高系統的效率，對降低生產成本非常有效。

4、 起動時，震動低，對系統沖擊小。

5、 結構緊湊，重量輕

6、 明顯的閥位指示

7、可選配加裝閥門啟閉信號控制器，便于編程自動化控制。

8、 高流導

9、 采用波紋管作為位移的動密封

    無動態漏氣，無油脂污染，可靠性高，相對橡膠密封，可靠性更高并可以避免產生顆粒污染。

10，真空部分盡量避免采用真空脂。

11，盡量減少真空部件內的無用空間，以保證真空獲得的時間更少。

12，盡可能的減少功耗